特許
J-GLOBAL ID：200903057075266542

静電チャック

発明者：
山口 慎治

山口 慎治 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-274506
公開番号（公開出願番号）：特開2000-106392
出願日： 1998年09月29日
公開日（公表日）： 2000年04月11日
要約：
【要約】【課題】被処理物を基材に均一に吸着させ、前記基材の加熱を均一に行うことのできる静電チャックを提供する。【解決手段】内側電極12と外側電極13とを同心円状に配置する。また、基材11の主面11A上に、エンボス14を複数形成するとともに、主面11の外周縁上にはエンボス14と同じ材料から凸状の部材15を形成し、さらに、内側電極12の位置する領域17におけるエンボス14の上面14Aの面積の合計と、外側電極13の位置する領域18におけるエンボス14の上面14Bの面積の合計及び凸状部15の上面15Aの面積の合計とを等しくし、これらエンボス14及び凸状部15で前記被処理物を支持する。
請求項（抜粋）：
基材中に埋設された金属からなる同心円状の内側電極及び外側電極と、前記基材の主面上に形成された複数のエンボスと、前記基材の前記複数のエンボスが形成された側の主面における外周縁上の略全体に亘って、前記複数のエンボスと同じ材料から形成された凸状部とを具え、前記内側電極及び前記外側電極はそれぞれ正又は負の互いに異なる電位を有するとともに、前記エンボスと前記凸状部とで被処理物を支持し、前記基材の主面上の前記内側電極が位置する領域に形成された前記複数のエンボスの上面の面積の合計と、前記基材の主面上の前記外側電極が位置する領域に形成された前記複数のエンボスの上面の面積の合計、及び前記基材の主面における外周縁上の前記外側電極が位置する領域に形成された前記凸状部の上面の面積の合計とを等しくしたことを特徴とする、静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  B25J 15/06 ,  H02N 13/00
FI (4件)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  B25J 15/06 S ,  H02N 13/00 D
Fターム (11件)：
3C016GA10 ,  3F061CA00 ,  5F031CA02 ,  5F031HA05 ,  5F031HA06 ,  5F031HA17 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031PA21
引用特許：
審査官引用 (6件)
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