特許
J-GLOBAL ID：200903057438125881
投影システムの焦点面に対して基板のターゲット部分を位置合わせする方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-322891
公開番号（公開出願番号）：特開2008-160110
出願日： 2007年12月14日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：
【課題】基板の縁部に沿って比較的正確なレベリングを実行できる方法およびシステムを提供することである。【解決手段】投影システムの焦点面に対して基板の少なくとも1つのターゲット部分を位置合わせする方法が提供される。方法は、基板の少なくとも一部の高さ測定を実行して高さデータを生成し、所定の補正高さを使用して高さデータについて補正済み高さデータを計算することを含む。方法はさらに、少なくとも部分的に補正済み高さデータに基づいて、投影システムの焦点面に対して基板のターゲット部分を位置合わせすることを含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
投影システムの焦点面に対して基板の少なくとも1つのターゲット部分を位置合わせする方法であって、
前記基板の少なくとも一部の高さ測定を実行して高さデータを生成すること、
所定の補正高さを使用して前記高さデータについて補正済み高さデータを計算すること、および、
前記補正済み高さデータに少なくとも部分的に基づいて、前記投影システムの前記焦点面に対して前記基板の前記ターゲット部分を位置合わせすること、
を含む、方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5F046BA04
, 5F046BA05
, 5F046DA14
, 5F046DB05
, 5F046DB08
