特許
J-GLOBAL ID：200903057550237846

光学的形状測定装置

発明者：
大澤 康宏

大澤 康宏 について


出願人/特許権者：
株式会社リコー

株式会社リコー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-354457
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156316
出願日： 2001年11月20日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 正確かつ効率的に3次元形状を測定しうる光学的形状測定装置を提供する。【解決手段】 光学的形状測定装置1500は、照射手段1503と、検知手段1510と、形状推定手段1515と、形状補正手段1516とを備える。照射手段1503は、検知手段1510と照射手段1503とを結ぶ視差方向に対して垂直に分割され互いに重なりの無い、被測定対象を含む測定領域の中の分割されたスリット状の部分領域に、1種類以上の光パターンを照射する。検知手段1510は測定領域に照射された光パターンの反射光を検知し、形状推定手段1515は、検知手段が検知した測定領域に照射された光パターンの反射光量から、照射手段と検知手段の視差を利用して測定領域の形状データを推定し、形状補正手段1516は、推定された測定領域の形状データに関連する部分領域の番号を決定して被測定対象の形状データを求める。
請求項（抜粋）：
照射手段と、検知手段と、形状推定手段と、形状補正手段とを備え、前記照射手段は、前記検知手段と前記照射手段とを結ぶ視差方向Bに対して垂直に分割され互いに重なりの無い、被測定対象を含む測定領域Aの中のn個に分割されたスリット状の部分領域Ai(iは1からnまでの部分領域の番号であり、nは自然数)の各々Ai当たり1種類以上の光パターンPiを被測定物に照射し、前記検知手段は前記測定領域Aに照射された前記光パターンPiの反射光を検知し、前記形状推定手段は、前記検知手段が検知した前記測定領域Aに照射された光パターンPiの反射光の光量Riから、部分領域の番号iを未決定としながらも、前記照射手段と前記検知手段の視差を利用して前記測定領域Aiの形状データSiを推定し、前記形状補正手段は、該推定された測定領域の形状データSiに関連する部分領域Aiの番号iを決定して被測定対象の形状データZを求める光学的形状測定装置において、前記形状補正手段は、前記部分領域Aiに照射されたそれぞれの光パターンPiの光量が部分領域Aiの境界で不連続であるように設定し、且つ各部分領域Aiの境界を含む無効領域Wiを設定し、該無効領域Wiで得られたデータを無効データとして該形状データZから除去することを特徴とする光学的形状測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/24 ,  G06T 1/00 315
FI (2件)：
G06T 1/00 315 ,  G01B 11/24 A
Fターム (24件)：
2F065AA06 ,  2F065AA51 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065FF09 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL12 ,  2F065LL21 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B057BA24 ,  5B057CA08 ,  5B057CA13 ,  5B057CA16 ,  5B057CB13 ,  5B057CB17 ,  5B057DA07 ,  5B057DB03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC22
引用特許：
審査官引用 (6件)
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