特許
J-GLOBAL ID：200903057569853033
グリオキシム系エステル、その製法および用途
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-113473
公開番号（公開出願番号）：特開平9-301948
出願日： 1996年05月08日
公開日（公表日）： 1997年11月25日
要約：
【要約】【課題】 酸の作用により開裂しうる保護基を有するアルカリ可溶性樹脂を含有するレジスト組成物の酸発生剤として使用できる化合物を提供し、これを用いて諸性能に優れるレジスト組成物を提供する。【解決手段】 式(I)で示されるグリオキシム系エステル。式中、Q1 およびQ2 は互いに独立に、水素、アルキル、シクロアルキル、アリールもしくはヘテロアリールを表すか、またはQ1 とQ2 が結合して環を形成する。式(I)のエステルは、対応するグリオキシム系N-OH体を、10-カンファースルホニルハライドと反応させることにより、製造できる。式(I)のエステルを酸発生剤として用い、酸の作用により開裂しうる保護基を有するアルカリ可溶性樹脂と配合して、レジスト組成物が得られる。
請求項（抜粋）：
式(I)(式中、Q1 およびQ2 は互いに独立に、水素、アルキル、シクロアルキル、アリールもしくはヘテロアリールを表すか、またはQ1 とQ2 が結合して環を形成する)で示されるグリオキシム系エステル。
IPC (5件)：
C07C309/65
, C07C303/28
, C09K 3/00
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
C07C309/65
, C07C303/28
, C09K 3/00 K
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 R
