特許
J-GLOBAL ID：200903057591781763

積層型透明導電膜

発明者：
石橋 暁

石橋 暁 について

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中村 久三

中村 久三 について

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清田 淳也

清田 淳也 について

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杉浦 功

杉浦 功 について

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中村 肇

中村 肇 について

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堀 隆英

堀 隆英 について


出願人/特許権者：
日本真空技術株式会社

日本真空技術株式会社 について


代理人 (1件)： 石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-348410
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171188
出願日： 1995年12月18日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 抵抗値が小さく、透過率の高い透明導電膜を提供する。【解決手段】 酸化物透明導電薄膜27,28,37と、それよりシート抵抗の小さい金属薄膜26,36とで積層型透明導電膜22,32を構成させる。前記金属薄膜26,36によって積層型透明導電膜全体のシート抵抗が小さくなり、酸化物透明導電薄膜の干渉により反射が低減されるので透過率が高くなる。酸化物透明導電薄膜27,28の間に金属薄膜26が位置する3層構造としてもよいし、酸化物透明導電薄膜37裏面に金属薄膜36が位置する2層構造としてもよい。前記金属薄膜26,36に銀薄膜を用いる場合は、特に特性がよく、その銀薄膜に金等の腐食防止剤を添加すれば耐食性も向上する。
請求項（抜粋）：
金属薄膜と酸化物透明導電薄膜とを有する積層型透明導電膜であって、前記酸化物透明導電薄膜の裏面に前記金属薄膜が成膜され、前記金属薄膜の反射が前記酸化物透明導電薄膜の干渉効果で低減されたことを特徴とする積層型透明導電膜。
IPC (2件)：
G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 335
FI (2件)：
G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 335 E
引用特許：
審査官引用 (26件)
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