特許

J-GLOBAL ID：200903057596860688

光ファイバプローブの製造方法

発明者： 物部 秀二 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-176052
公開番号（公開出願番号）：特開平11-023587
出願日： 1997年07月01日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】 光の透過効率が高く、しかも高い分解能が得られる光ファイバプローブを製造する。【解決手段】 光ファイバのクラッドの一端に外周から内周にかけて傾斜する傾斜部を形成するクラッド傾斜工程と、コアの一端を、エッチングによってクラッドから突出させるとともにこの一端を円錐状に先鋭化する第1の先鋭化工程と、円錐状に先鋭化されたコアの一端を、エッチングによって傾斜角を2段階に変化させて先鋭化する第2の先鋭化工程によって、傾斜角の異なる3つのテーパ面2,3,4よりなる先鋭部1を有する光ファイバプローブを製造する。

請求項（抜粋）：

コアの周りにクラッドが設けられてなる光ファイバの前記クラッドの一端に外周から内周にかけて傾斜する傾斜部を形成するクラッド傾斜工程と、上記コアの一端を、エッチングによってクラッドから突出させるとともにこの一端を円錐状に先鋭化する第1の先鋭化工程と、円錐状に先鋭化されたコアの一端を、エッチングによって傾斜角を2段階に変化させて先鋭化する第2の先鋭化工程とを有することを特徴とする光ファイバプローブの製造方法。

IPC (4件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 102 ,  G01B 21/30 ,  G02B 6/10

FI (4件)：

G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 102 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G02B 6/10 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光ファイバ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-316853   出願人：富士ゼロックス株式会社
• ファイバ製プローブ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-185132   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 多重直径を有するファイバープローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-315400   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• パターン化反応イオンエッチングを用いたファイバープローブ装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-315401   出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション