特許
J-GLOBAL ID：200903057677253000
ポリマー光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
牧野 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-059233
公開番号（公開出願番号）：特開2004-102220
出願日： 2003年03月05日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】ウェットプロセスによりながら、現像工程を含まず、従って、コア層上にオーバークラッド層を平坦に形成することができ、しかも、用いる樹脂を自由に選択することができるポリマー光導波路の製造方法を提供する。【解決手段】本発明によれば、(a)基板上にアンダークラッド層を形成する工程、(b)1,4-ジヒドロピリジン誘導体と樹脂とを含む感光性樹脂組成物層を上記アンダークラッド層上に形成する工程、(c)上記感光性樹脂組成物層のコアパターンに対応する領域にマスクを介して紫外線を照射して、上記感光性樹脂組成物層に紫外線露光部と紫外線非露光部とを形成する工程、(d)上記感光性樹脂組成物層の紫外線露光部と紫外線非露光部とを加熱する工程、(e)上記加熱後の感光性樹脂組成物層の上にオーバークラッド層を形成する工程を含むことを特徴とするポリマー光導波路の製造方法が提供される。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(a)基板上にアンダークラッド層を形成する工程、
(b)1,4-ジヒドロピリジン誘導体と樹脂とを含む感光性樹脂組成物層を上記アンダークラッド層上に形成する工程、
(c)上記感光性樹脂組成物層のコアパターンに対応する領域にマスクを介して紫外線を照射して、上記感光性樹脂組成物層に紫外線露光部と紫外線非露光部とを形成する工程、
(d)上記感光性樹脂組成物層の紫外線露光部と紫外線非露光部とを加熱する工程、
(e)上記加熱後の感光性樹脂組成物層の上にオーバークラッド層を形成する工程
を含むことを特徴とするポリマー光導波路の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2H047KA03
, 2H047KA04
, 2H047PA02
, 2H047PA22
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047QA07
出願人引用 (5件)
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感光性樹脂組成物及び回路基板
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-192583
出願人：日東電工株式会社
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光導波路
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-394993
出願人：ジェイエスアール株式会社
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分散補償光ファイバの接続構造
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-070833
出願人：株式会社フジクラ
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引用文献：
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