特許
J-GLOBAL ID：200903099991096789
ステージ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
後藤 洋介
, 池田 憲保
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-313610
公開番号（公開出願番号）：特開2005-083789
出願日： 2003年09月05日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：
【課題】 専用のブレーキ機構を備えることなく、可動部の停止保持機能を付与することのできるステージ装置を提供する。【解決手段】 本ステージ装置は、ベース100面に圧縮空気を吹き出すことで可動部がベース面から浮上した状態で走行することを可能にする静圧空気軸受け装置20を1個以上備える。静圧空気軸受け装置は、ベース面に対向する面の中央部に減圧空間部21を有すると共に、その周囲に減圧空間部を取り囲むように圧縮空気を吹き出すための吹き出し部25を有し、減圧空間部には減圧用の配管23が接続される一方、吹き出し部には開閉弁26を介して圧縮空気用の配管27が接続される。可動部の走行時には、減圧空間部を減圧状態にすると共に吹き出し部から圧縮空気を吹き出し、可動部の停止時には、開閉弁を閉じることで減圧空間部における減圧作用でベース面に吸着する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平坦なベース面上を走行する可動部に設置されて該可動部と前記ベース面との間に介在し、前記ベース面に圧縮空気を吹き出すことで前記可動部が前記ベース面から浮上した状態で走行することを可能にする静圧空気軸受け装置を1個以上備えたステージ装置において、
前記静圧空気軸受け装置は、前記ベース面に対向する面の中央部に減圧空間を有すると共に、その周囲に前記減圧空間を取り囲むように圧縮空気を吹き出すための吹き出し部を有し、前記減圧空間には減圧用の配管が接続される一方、前記吹き出し部には開閉弁を介して圧縮空気用の配管が接続され、
前記可動部の走行時には、前記減圧空間を減圧状態にすると共に前記吹き出し部から圧縮空気を吹き出し、
前記可動部の停止時には、前記開閉弁を閉じることで前記減圧空間における減圧作用で前記ベース面に吸着するようにしたことを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
2F078CA08
, 2F078CB02
, 2F078CB09
, 2F078CB16
, 2F078CC06
, 2F078CC20
, 3J102AA02
, 3J102BA14
, 3J102BA18
, 3J102CA10
, 3J102CA32
, 3J102EA02
, 3J102EA07
, 3J102EA10
, 3J102EA13
, 3J102EA18
, 3J102EA30
, 3J102FA08
, 3J102GA20
出願人引用 (2件)
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ステージ機構
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-167135
出願人：住友重機械工業株式会社
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ステージ装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-037512
出願人：住友重機械工業株式会社
審査官引用 (2件)
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静圧移動案内装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-121358
出願人：富士通オートメーション株式会社
-
非接触型移動テーブル
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-227975
出願人：株式会社新川
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