特許

J-GLOBAL ID：200903057800218230

感光性薄膜形成用前駆体溶液とこれを用いた薄膜パターン形成方法

発明者： 内田 寛人 ,  曽山 信幸 ,  影山 謙介 ,  小木 勝実 ,  マイケル・シー・スコット ,  ラリー・ディー・マクミラン ,  カルロス・エイ・パズデアラウジョ
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社 ,  シンメトリックス・コーポレイション
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-133857
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097069
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 ゾル-ゲル法を利用せずに、解像度に優れたIC用金属酸化物 (特に、積層超格子材料およびペロブスカイト) 薄膜パターンを形成する。【解決手段】 1種もしくは2種以上の金属をラジカル重合性モノマー (例、アクリレートモノマー) に結合させた有機金属化合物と光重合開始剤を溶媒に溶解させた感光性前駆体溶液を利用する。この溶液を、目的とする金属酸化物の金属原子比となるように必要により他の同種溶液と混合してから、基板に塗布し、形成された薄膜を予備焼成し、フォトマスクを介して紫外線に露光する。薄膜の露光部はラジカル重合反応により現像液に不溶性となる。現像で未重合部分をエッチングして除去し、残った薄膜を乾燥および熱処理して金属酸化物に変えると、金属酸化物薄膜のネガパターンが得られる。

請求項（抜粋）：

(a) ラジカル感受性モノマー部位と、これに結合した少なくとも1つの金属、とを含んでいる少なくとも1種のラジカル重合性有機金属化合物、(b) 光重合開始剤、および(c) 溶媒、を含有することを特徴とする、薄膜形成用感光性前駆体溶液。

IPC (11件)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/48 ,  C08F 20/06 ,  C08F 20/26 ,  C08F 30/04 ,  C30B 29/30 ,  C30B 29/68 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (11件)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/48 ,  C08F 20/06 ,  C08F 20/26 ,  C08F 30/04 ,  C30B 29/30 C ,  C30B 29/68 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (14件)

• 強誘電体薄膜微細パターン形成剤及び強誘電体薄膜微細パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-299287   出願人：ローム株式会社
• 特開平1-182845
  
• 特開昭64-033108
  
• 有機高分子-チタン酸塩コンポジット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-012964   出願人：ポーラ化成工業株式会社, 平野眞一
• 強誘電体薄膜微細パターン形成剤及び強誘電体薄膜微細パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-299289   出願人：ローム株式会社
• 特開昭64-059289
  
• 光記録膜及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-299040   出願人：日本板硝子株式会社
• 強誘電体薄膜微細パターン形成剤及び強誘電体薄膜微細パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-099997   出願人：ローム株式会社
• 特開昭63-311344
  
• 層状超格子物質を作製し、それを含む電子デバイスを作製する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平6-511140   出願人：シメトリックス・コーポレーション, オリンパス光学工業株式会社
• 特開平1-182845
  
• 特開昭64-033108
  
• 特開昭64-059289
  
• 特開昭63-311344
  

引用文献：

審査官引用 (2件)

• JOEM Handbook3 イメージング用有機材料, 19971016, 60-63頁
• JOEM Handbook3 イメージング用有機材料, 19971016, 60-63頁