プラズマイグナイタ及びこれを搭載した装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：松本眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-352061
公開番号（公開出願番号）：特開2006-164648
出願日： 2004年12月03日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】気体電離を促進する高いエネルギーを持つ電子を気体中に照射し、放電装置の放電開始電圧を低下させる。【解決手段】ナノ結晶シリコン等から作製される、電子ドリフト層70を有する電子放出素子を用いて、プラズマイグナイタ1を作製し、これを放電空間10の近傍に配置して、プラズマイグナイタ1へのプラズマの衝撃を回避しつつ、良好な放電開始電圧の低減を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電子ドリフト層と、該電子ドリフト層上に形成された表面電極とを有するプラズマイグナイタを搭載した放電装置において、該放電装置の陽極と該表面電極の距離が該陽極と該放電装置の陰極の距離よりも大きくなるように配置し、放電空間の近傍に該表面電極を配置したことを特徴とする、プラズマイグナイタを搭載した放電装置。

IPC (2件)：

H01J 61/54 , H01J 17/04

FI (3件)：

H01J61/54 B , H01J61/54 , H01J17/04

Fターム (15件)：

5C039BA01 , 5C039EA07 , 5C040FA02 , 5C040GB06 , 5C040GB08 , 5C040GB09 , 5C040GB16 , 5C040GC02 , 5C040GG02 , 5C040GJ02 , 5C040GJ08 , 5C040GK07 , 5C040MA03 , 5C040MA12 , 5C040MA17

引用特許：

出願人引用 (5件)

放電型平面表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-121141 出願人：株式会社東芝, 東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社
US 6563267 B1
高繰返しパルスレーザ電極
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-278046 出願人：株式会社東芝

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