特許
J-GLOBAL ID：200903058064455587
ガスサンプリング方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-334647
公開番号（公開出願番号）：特開2006-145341
出願日： 2004年11月18日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】ガス種によらない定量のガスのサンプリングを行い、精密なガス組成分析及びガス流量測定を可能とする。【解決手段】導入ガス切換器1に入口ポート2、3、4から各々a、b、cのサンプリングガスを、入口ポート5から標準ガスを切換供給し、出口6からのガスはポンプ13で吸引する音速ノズル11に導入している。音速ノズルの上流に希釈ガスとトレーサーガスを導入し、圧力計G1とG2で圧力差を計測し、サンプリング点の圧力によるサンプリング量の変化を計測圧力により補正する。ポンプ13から排出されるガスは、ニードルバルブ15を介してガスサンプリングユニットとしての恒温槽16の外に設けたQMS、或いはFTIR等の組成分析・計量装置17に導き、組成の分析及び流量の測定を行う。ニードルバルブ15と組成分析・計量装置17との間には校正用の標準ガスを供給可能とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
音速ノズルにより調量したサンプリングガスの組成及び流量を測定するガスサンプリング方法において、
前記音速ノズルの上流に、サンプリングガスの主成分とは異なる成分からなる希釈ガスとサンプリングガス流量測定用のトレーサーガスを導入し、サンプリングガスの主成分ガス組成が変化してもサンプリング誤差の増加を防止することを特徴とするガスサンプリング方法。
IPC (4件)：
G01N 1/22
, G01F 1/34
, G01F 1/50
, G01F 1/704
G01N1/22 M
, G01F1/34 C
, G01F1/50
, G01F1/704
2F030CA04
, 2F030CC11
, 2F030CD17
, 2F035FA08
, 2F035FB04
, 2G052AD02
, 2G052AD22
, 2G052AD42
, 2G052BA14
, 2G052CA03
, 2G052CA12
, 2G052CA38
, 2G052EA03
, 2G052EB12
, 2G052FD01
, 2G052GA11
, 2G052GA24
, 2G052HA18
, 2G052HB08
, 5H026AA06
, 5H027AA06
, 5H027KK31
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (1件)
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