特許
J-GLOBAL ID:200903058192261400
ワイヤーグリッド偏光子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
勝又 弘好
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-300414
公開番号(公開出願番号):特開2005-070456
出願日: 2003年08月25日
公開日(公表日): 2005年03月17日
要約:
【課題】透過率、消光比及び偏光度が高く、薄型のワイヤーグリッド偏光子及びその製造方法を低コストで提供する。【解決手段】ガラス基板11上に、フッ素化ポリイミド薄膜12と、親水性薄膜13と、疎水性薄膜14とを順次積層して、親水性薄膜14側から型1をプレスして、型1の溝形成用突堤3の微細パターンを疎水性薄膜14、親水性薄膜13へナノインプリントリソグラフィー技術を用いて転写し、メッキ法にて金属細線を成長させることにより、透過率、消光比及び偏光度が高く、薄型のワイヤーグリッド偏光子及びその製造方法を得ることができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
光透過性基材上に光透過性を有する親水性樹脂薄膜層が形成され、当該薄膜層上に所望の微細周期構造で金属細線が形成されていることを特徴とするワイヤーグリッド偏光子。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
2H049BA02
, 2H049BA45
, 2H049BB42
, 2H049BC01
引用特許:
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