特許
J-GLOBAL ID：200903058231098538
荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置における描画方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大阿久 敦子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-130214
公開番号（公開出願番号）：特開2009-278021
出願日： 2008年05月16日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：
【課題】描画精度を低下させることなく、偏向制御回路からDACアンプユニットまでのデータ転送をチェックすることが可能な荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画装置における描画方法を提供する。【解決手段】DACアンプユニットにENB(イネーブル)信号が入力される時刻t2に、DAC回路へのデータの書き込みが行われる。この書き込まれたデータのSUM(加算値)が同時に演算される。時刻t3においてDACアンプユニット出力が静定すると、時刻t4〜時刻t5までの期間にストライプエンドの描画が実行される。このストライプエンドの描画終了時刻t5から次のストライプの描画開始時刻t8までの非描画期間に、演算されたSUMを偏向制御回路に読み出すためのSUMクロック信号とSUMリードパルス信号とを発生させる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
偏向制御回路によって生成された偏向器制御用のデジタル信号をアナログ信号にDA変換し、DA変換後のアナログ信号を増幅して偏向器に出力するDACアンプユニットを備えた荷電粒子ビーム描画装置において、
前記DACアンプユニットは、前記DA変換を行うDAC回路に書き込まれたデジタル信号の加算値を演算して記憶する第1演算手段と、前記第1演算手段に記憶された前記加算値を読み出すための読み出し信号を発生する読み出し信号発生手段とを有し、
前記偏向制御回路は、前記偏向器制御用のデジタル信号の加算値を演算して記憶する第2演算手段と、前記第1演算手段から読み出された加算値と前記第2演算手段に記憶された加算値とを比較する比較手段とを有し、
前記読み出し信号発生手段は、非描画期間に前記読み出し信号を発生することを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F056AA04
, 5F056AA13
, 5F056BA10
, 5F056CA25
, 5F056CA28
, 5F056CB14
