特許
J-GLOBAL ID：200903058237223512

基板検査システム及び基板検査方法

発明者：
村上 勝治

村上 勝治 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (7件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士 ,  加藤 清志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-081606
公開番号（公開出願番号）：特開2006-266722
出願日： 2005年03月22日
公開日（公表日）： 2006年10月05日
要約：
【課題】 検査箇所を変更する際の移動時間とともに検査時間を短縮でき、検査効率を向上させることができる基板検査システム及び基板検査方法を提供すること。【解決手段】 ガラス基板3を浮上させる基板浮上機構と、浮上したガラス基板3の端部を保持して一方向に搬送する基板搬送機構と、ガラス基板3の表面を光学的に拡大して観察する検査部Eと、ガラス基板3と平行で、かつ、ガラス基板3の搬送方向Cに直交する方向Vに検査部Eを移動する門型アーム14と、基板搬送機構よりも精度よく搬送方向Cに検査部Eを移動する微動機構49とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を浮上させる基板浮上機構と、 浮上した前記基板の端部を保持して一方向に搬送する基板搬送機構と、 前記基板の表面を光学的に拡大して観察する検査部と、 前記基板と平行で、かつ、前記基板の搬送方向に直交する方向に前記検査部を移動する移動機構と、 前記基板搬送機構よりも精度よく前記搬送方向に前記検査部を移動する微動機構とを備えていることを特徴とする基板検査システム。
IPC (8件)：
G01N 21/84 ,  B65G 49/06 ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 ,  G09F 9/00 ,  H01J 9/42 ,  H01J 11/02 ,  H01L 21/677
FI (8件)：
G01N21/84 C ,  B65G49/06 Z ,  G01N21/958 ,  G02F1/13 101 ,  G09F9/00 352 ,  H01J9/42 C ,  H01J11/02 B ,  H01L21/68 A
Fターム (52件)：
2G051AA73 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AC19 ,  2G051BB05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA03 ,  2G051DA07 ,  2G051ED15 ,  2H088FA11 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  5C012UU08 ,  5C040JA31 ,  5C040MA26 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA13 ,  5F031FA14 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA24 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA52 ,  5F031GA62 ,  5F031HA33 ,  5F031HA53 ,  5F031HA57 ,  5F031HA60 ,  5F031JA03 ,  5F031JA04 ,  5F031JA13 ,  5F031JA33 ,  5F031JA36 ,  5F031KA06 ,  5F031KA10 ,  5F031KA12 ,  5F031KA15 ,  5F031LA08 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031MA13 ,  5F031MA33 ,  5F031PA16 ,  5G435AA19 ,  5G435HH18 ,  5G435KK10
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開昭59-62987号公報(第1図)
  • 基板用自動検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-370182   出願人：タカノ株式会社
審査官引用 (6件)
  • 基板浮上装置
    公報種別：再公表公報   出願番号：JP2004006000   出願人：オリンパス株式会社
  • 微細欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-106311   出願人：住友化学工業株式会社
  • 基板検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-339938   出願人：オリンパス光学工業株式会社
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