特許
J-GLOBAL ID：200903012043505622
ガラス基板の検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下山 冨士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-081461
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279495
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】本発明は、ガラス基板の検査精度が高く、しかも、装置価格も低廉とすることができるガラス基板の検査装置を提供する。【解決手段】本発明のガラス基板10の検査装置1は、搬送駆動手段により搬送駆動されるガラス基板10と、ガラス基板10の検査を行う検査機器2と、検査機器2による検査位置の両側に位置する配置でガラス基板10の下面側に設置され、ガラス基板10の下面側に対する空気吐出及び空気吸引を行う一対の吐出吸引ユニット3A、3Bと、搬送駆動手段の搬送制御、一対の吐出吸引ユニット3A、3Bの空気吐出、空気吸引の制御を行う制御部とを有するものである。
請求項（抜粋）：
搬送駆動手段により搬送駆動される検査対象であるガラス基板と、前記ガラス基板の検査を行う検査機器と、前記検査機器による検査位置の両側に位置する配置でガラス基板の下面側に設置され、前記ガラス基板の下面側に対する空気吐出及び空気吸引を行う一対の吐出吸引ユニットと、前記搬送駆動手段の搬送制御、一対の吐出吸引ユニットの空気吐出、空気吸引の制御を行う制御部と、を有することを特徴とするガラス基板の検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/89 T
, G01N 21/958
2G051AB20
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051DA07
, 2G051DA20
