特許
J-GLOBAL ID：200903058301567565

撥水性薄膜を有する光学部材の製造方法

発明者：
河野 重利

河野 重利 について


出願人/特許権者：
ホーヤ株式会社

ホーヤ株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-122202
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014904
出願日： 2002年04月24日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】反射防止膜の形成と連続して、沸点の高いフッ素含有有機ケイ素化合物を用い真空蒸着法により撥水膜を形成する方法を提供すること。【解決手段】プラスチック製光学部材上に反射防止膜を蒸着し、次いで反射防止膜上に撥水性薄膜を蒸着により形成する撥水性薄膜を有する光学部材の製造方法。撥水性薄膜の蒸着は、フッ素含有有機ケイ素化合物を、プラスチック製光学部材の温度が前記反射防止膜蒸着の際のプラスチック製光学部材の最大温度を超えない条件下で加熱して蒸発させ、蒸発したフッ素含有有機ケイ素化合物を前記反射防止膜を有するプラスチック光学部材上に付着させることにより行われる。加熱は、常温から前記フッ素含有有機ケイ素化合物の蒸発開始温度より低い所定の温度(1)まで上昇させる第一の昇温段階と、所定の温度(1)から蒸発開始温度以上の所定の温度(2)まで上昇させる第二の昇温段階を含む。第一の昇温段階の昇温速度は第二の昇温段階の昇温速度より大きい。
請求項（抜粋）：
プラスチック製光学部材上に反射防止膜を蒸着し、次いで該反射防止膜上に撥水性薄膜を蒸着により形成する撥水性薄膜を有する光学部材の製造方法であって、前記撥水性薄膜の蒸着は、フッ素含有有機ケイ素化合物を、前記プラスチック製光学部材の温度が前記反射防止膜蒸着の際のプラスチック製光学部材の最大温度を超えない条件下で加熱して蒸発させ、蒸発したフッ素含有有機ケイ素化合物を前記反射防止膜を有するプラスチック光学部材上に付着させることにより行われ、前記加熱は、常温から前記フッ素含有有機ケイ素化合物の蒸発開始温度より低い所定の温度(1)まで上昇させる第一の昇温段階と、前記所定の温度(1)から前記蒸発開始温度以上の所定の温度(2)まで上昇させる第二の昇温段階を含むようにおこなわれ、かつ第一の昇温段階の昇温速度は第二の昇温段階の昇温速度より大きいことを特徴とする光学部材の製造方法。
IPC (5件)：
G02B 1/10 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/24 ,  G02B 1/11 ,  G02B 3/00
FI (5件)：
C23C 14/06 P ,  C23C 14/24 L ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 1/10 Z ,  G02B 1/10 A
Fターム (18件)：
2K009AA06 ,  2K009CC03 ,  2K009CC26 ,  2K009CC42 ,  2K009DD03 ,  2K009DD06 ,  2K009EE02 ,  2K009EE05 ,  4K029AA11 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC00 ,  4K029BC07 ,  4K029CA09 ,  4K029DB06 ,  4K029DB17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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