非軸対称非球面ミラーの研削加工方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：堀田実 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-058282
公開番号（公開出願番号）：特開2001-246539
出願日： 2000年03月03日
公開日（公表日）： 2001年09月11日
要約：

【要約】【課題】高い形状精度と優れた表面粗さを有し光を正確に反射又は収束させることができる非軸対称非球面ミラーを短時間に高精度に製作できる研削加工方法を提供する。【解決手段】軸心Yを中心に回転しその外縁に半径Rの円弧面2aを有する円板状のメタルボンド砥石2を有し、砥石を電解によりドレッシングしながら、被加工物1を研削加工する電解インプロセスドレッシング装置10と、回転軸Yに直交するX軸を中心に回転し円弧面2aをツルーイングするための回転式ツルーア12と、砥石の円弧面形状と被加工物1の加工面形状を機上で計測するための形状計測装置14と、砥石をX,Y,Zの3軸方向に数値制御する数値制御装置16とを備え、数値制御装置16により砥石を3軸方向に移動させて、ツルーイング、研削加工、及び機上計測を繰り返す。

請求項（抜粋）：

軸心Yを中心に回転しその外縁に半径Rの円弧面(2a)を有する円板状のメタルボンド砥石(2)と、該砥石と間隔を隔てて対向する電極(4)と、砥石と電極との間に導電性液を流すノズル(6)と、砥石と電極との間に電圧を印加する印加装置(8)とからなり、砥石を電解によりドレッシングしながら、被加工物(1)を研削加工する電解インプロセスドレッシング装置(10)と、前記回転軸Yに直交するX軸を中心に回転し前記円弧面をツルーイングするための回転式ツルーア(12)と、前記砥石の円弧面形状と被加工物(1)の加工面形状を機上で計測するための形状計測装置(14)と、前記砥石をX,Y,Zの3軸方向に数値制御する数値制御装置(16)とを備え、数値制御装置(16)により砥石を3軸方向に移動させて、ツルーイング、研削加工、及び機上計測を繰り返す、ことを特徴とする非軸対称非球面ミラーの研削加工方法。

IPC (5件)：

B24B 13/00 , B23H 5/00 , B24B 49/12 , B24B 49/18 , B24B 53/00

FI (5件)：

B24B 13/00 A , B23H 5/00 J , B24B 49/12 , B24B 49/18 , B24B 53/00 D

Fターム (24件)：

3C034AA19 , 3C034BB87 , 3C034BB93 , 3C034CA05 , 3C034CA09 , 3C034CA22 , 3C034CB01 , 3C034CB11 , 3C034DD05 , 3C034DD20 , 3C047AA02 , 3C047AA13 , 3C047AA15 , 3C047AA29 , 3C049AA02 , 3C049AA19 , 3C049AC02 , 3C049BA09 , 3C049BC02 , 3C049CA01 , 3C049CB01 , 3C049CB03 , 3C059AA02 , 3C059HA08

引用特許：

審査官引用 (10件)

形状制御方法とこの方法によるNC加工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-208068 出願人：理化学研究所
砥石形状計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-069227 出願人：日立精機株式会社
特開平4-141336

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