特許
J-GLOBAL ID:200903058424683470
ペリクル収納容器
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
中川 周吉 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-273588
公開番号(公開出願番号):特開2001-100394
出願日: 1999年09月28日
公開日(公表日): 2001年04月13日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、ペリクル容器の目視検査における作業能率を向上すると共に目視可能な異物の検査限界を向上することが出来、更には使用者側の納品検査時等において容器内に収納されたペリクルの有無を目視により検査し得るペリクル収納容器を提供することを可能にすることを目的としている。【解決手段】 ペリクル3を収納する容器の蓋2を半透明の有色で且つその明度がマンセル値8以下で構成したことを特徴とする。
請求項(抜粋):
トレイと蓋とにより枠体にペリクル膜が接着されたペリクルを収納するペリクル収納容器において、前記蓋は有色で且つその明度がマンセル値8以下であることを特徴とするペリクル収納容器。
IPC (2件):
FI (3件):
G03F 1/14 M
, G03F 1/14 J
, B65D 85/38 R
Fターム (14件):
2H095BB30
, 2H095BC31
, 2H095BE12
, 3E096AA01
, 3E096BA08
, 3E096CA06
, 3E096DA17
, 3E096EA02X
, 3E096EA02Y
, 3E096EA04X
, 3E096EA04Y
, 3E096FA03
, 3E096FA12
, 3E096GA07
引用特許:
出願人引用 (4件)
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ペリクルの製造法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-194498
出願人:東ソー株式会社
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ペリクル枠
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-173687
出願人:東ソー株式会社
-
ペリクル収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-245823
出願人:信越ポリマー株式会社, 信越化学工業株式会社
-
ペリクルの収納方法及びペリクル収納容器
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-196508
出願人:信越化学工業株式会社
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審査官引用 (2件)
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ペリクルの製造法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-194498
出願人:東ソー株式会社
-
ペリクル枠
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-173687
出願人:東ソー株式会社
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