光学要素のための支持体

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：熊倉禎男 , 大塚文昭 , 西島孝喜 , 須田洋之 , 上杉浩
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-521258
公開番号（公開出願番号）：特表2009-545152
出願日： 2007年07月25日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：

光学要素のための支持構造体とそのような支持構造体を含む光学要素モジュール、及び光学要素を支持する方法を提供する。光学要素と光学要素を支持する支持構造体とを含む光学要素モジュールを提供する。支持構造体は、力作用デバイスを含み、力作用デバイスは、光学要素に機械的に接続され、かつ力作用デバイス内に負圧が作用している時に光学要素に対して力を作用するようになっている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光学要素と、前記光学要素を支持する支持構造体と、を含み、前記支持構造体は、力作用デバイスを含み、前記力作用デバイスは、前記光学要素に機械的に接続され、かつ該力作用デバイス内に負圧が作用している時に該光学要素に対して力を及ぼすようになっている、ことを特徴とする光学要素モジュール。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 515D

Fターム (3件)：

5F046CB02 , 5F046CB12 , 5F046CB27

引用特許：

審査官引用 (7件)

リソグラフィ光学システム
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-082963 出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
負空気圧サーボシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-332799 出願人：日本空圧システム株式会社, 木村誠
反射光学素子及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-177555 出願人：株式会社ニコン

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