蒸着装置および有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-422403
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214185
出願日： 2003年12月19日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】蒸発源のるつぼから蒸着マスクへの放射熱の影響を軽減し、蒸着マスクの膨張を抑制することで精度の高い蒸着を行うことのできる蒸着装置を提供する。【解決手段】被蒸着基板51に蒸着マスク31を介して蒸発させた蒸着材料71を被着させる蒸着装置1において、蒸着材料71を収納しかつ蒸発させるるつぼ12と、被蒸着基板51と対向するるつぼ12上部に突出した状態に形成された突出部13と、るつぼ12内部より被蒸着基板51方向に向かって突出部13に形成された孔14と、突出部13の周囲でかつ孔14の射出側開口部14aと同じ高さもしくは孔14の射出側開口部14aよりも低い位置に被蒸着基板51側のるつぼ12の上面と間隔dを置いて設けられた放射阻止体15とを備えるものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被蒸着基板に蒸着マスクを介して蒸発させた蒸着材料を被着させる蒸着装置において、前記蒸着材料を収納しかつ蒸発させるるつぼと、前記被蒸着基板と対向する前記るつぼ上部に突出した状態に形成された突出部と、前記るつぼ内部より前記被蒸着基板方向に向かって前記突出部に形成された孔と、前記突出部の周囲でかつ前記孔の射出側開口部と同じ高さもしくは前記孔の射出側開口部よりも低い位置に前記るつぼの上面と間隔を置いて設けられた放射阻止体とを備えることを特徴とする蒸着装置。

IPC (3件)：

H05B33/10 , C23C14/24 , H05B33/14

FI (4件)：

H05B33/10 , C23C14/24 A , C23C14/24 G , H05B33/14 A

Fターム (15件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DA10 , 4K029DA12 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB14 , 4K029DB24 , 4K029EA08 , 4K029HA01 , 4K029JA01

引用特許：

出願人引用 (5件)

有機電界発光素子の製造方法および製造装置並びに有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-133536 出願人：ソニー株式会社
特開昭62-218558
有機薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-019292 出願人：アネルバ株式会社

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審査官引用 (4件)

特開昭62-218558
有機薄膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-019292 出願人：アネルバ株式会社
マスク蒸着方法及び蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-259028 出願人：日本電気株式会社

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