特許
J-GLOBAL ID：200903065465395990

有機電界発光素子の製造方法および製造装置並びに有機電界発光素子を用いた表示装置の製造システムおよび製造方法

発明者：
紙山 功

紙山 功 について

, 
森 敬郎

森 敬郎 について

, 
山口 優

山口 優 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-133536
公開番号（公開出願番号）：特開2003-157973
出願日： 2002年05月09日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：
【要約】【課題】 短いタクトタイムおよび少ない材料消費量での成膜を可能にすることで、迅速かつ低コストで有機EL素子を製造できるようにする。【解決手段】 基板上に複数層が順次積層されてなる有機電界発光素子を製造するのにあたり、並列配置された複数の蒸着源142a〜142dと対向する位置を順に通過するように、被成膜物である基板2と各蒸着源142a〜142dとの相対位置を可変させて、その基板2上の被成膜箇所に複数層を積層させる。
請求項（抜粋）：
基板上に複数層が順次積層されてなる有機電界発光素子の製造方法であって、並列配置された複数の蒸着源と対向する位置を順に通過するように、前記基板と前記複数の蒸着源との相対位置を可変させて、当該基板上の被成膜箇所に前記複数層を積層させることを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/06 Q ,  C23C 14/24 J ,  H05B 33/14 A
Fターム (13件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DA12 ,  4K029DB14 ,  4K029HA03 ,  4K029KA01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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