めっき装置及びめっき液除去方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241503
公開番号（公開出願番号）：特開2002-060995
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】基板保持部の基板との当接部に残っためっき液を容易かつ迅速に除去することができ、しかも構造が簡単で設置スペースが少なくて済むようにする。【解決手段】基板Wを保持する基板保持部72を有する回転自在なハウジング70を備えたヘッド部47と、ヘッド部47の下方に配置されてめっき液45を保持するめっき処理槽46と、ハウジング70の基板保持部72の内周端の基板との当接部360乃至その近傍に付着しためっき液を除去するめっき液除去手段300とを有する。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持部を有する回転自在なハウジングを備えたヘッド部と、前記ヘッド部の下方に配置されてめっき液を保持するめっき処理槽と、前記ハウジングの前記基板保持部の内周端の基板との当接部乃至その近傍に付着しためっき液を除去するめっき液除去手段とを有することを特徴とするめっき装置。

IPC (5件)：

C25D 7/12 , C25D 17/00 , C25D 21/00 , H01L 21/288 , H01L 21/768

FI (5件)：

C25D 7/12 , C25D 17/00 D , C25D 21/00 B , H01L 21/288 E , H01L 21/90 C

Fターム (35件)：

4K024AA09 , 4K024BB12 , 4K024CB01 , 4K024CB03 , 4K024CB06 , 4K024CB14 , 4K024CB18 , 4K024CB19 , 4K024CB26 , 4K024DA03 , 4K024DB10 , 4M104BB04 , 4M104BB30 , 4M104CC01 , 4M104DD52 , 4M104FF18 , 4M104FF22 , 4M104HH20 , 5F033HH11 , 5F033HH33 , 5F033JJ01 , 5F033JJ11 , 5F033JJ33 , 5F033KK01 , 5F033MM02 , 5F033MM12 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033QQ09 , 5F033QQ37 , 5F033RR04 , 5F033XX00

引用特許：

審査官引用 (4件)

基板メッキ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-263851 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
メッキ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-117010 出願人：日本電気株式会社
基板メッキ方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-033204 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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