ネガ型感放射線性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：鈴木俊一郎 , 牧村浩次 , 高畑ちより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-081862
公開番号（公開出願番号）：特開2007-293306
出願日： 2007年03月27日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】レジストのメッキ液に対する膨潤が少なく、パターンと基板との界面へのメッキ液のしみ出しが抑制され、バンプあるいは配線などの厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができる製造方法、この製造方法に好適な感度を示し、解像度、耐熱性などに優れるネガ型感放射線性樹脂組成物、および該組成物を用いた転写フィルムを提供する。【解決手段】上記ネガ型感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式(1)で表される構造単位および下記式(2)で表される構造単位を含有する重合体、(B)1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)感放射線性ラジカル重合開始剤を含有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)で表される構造単位および下記式(2)で表される構造単位を含有する重合体、 (B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および (C)感放射線性ラジカル重合開始剤を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/033 , G03F 7/031 , G03F 7/004 , H05K 3/18

FI (4件)：

G03F7/033 , G03F7/031 , G03F7/004 512 , H05K3/18 D

Fターム (29件)：

2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA01 , 2H025CA28 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB17 , 2H025CB45 , 2H025CC03 , 2H025EA08 , 2H025FA17 , 2H025FA43 , 5E343CC63 , 5E343CC65 , 5E343DD43 , 5E343DD63 , 5E343ER12 , 5E343ER16 , 5E343ER18 , 5E343FF01 , 5E343FF07 , 5E343FF16 , 5E343GG08

引用特許：

出願人引用 (4件)

感放射線性樹脂組成物、バンプ形成用および配線形成用材料ならびにドライフィルムレジスト
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-209235 出願人：ジェイエスアール株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-338982 出願人：ジェイエスアール株式会社
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメントおよびめっきレジストの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-186719 出願人：日立化成工業株式会社, 株式会社日立製作所

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