特許
J-GLOBAL ID：200903059002416670

配線の信頼性評価装置及びその方法

発明者：
山本 茂久

山本 茂久 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-289841
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135298
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 ホールチェーンの寸法設定いかんに影響を受けることなく、しかも評価対象外の部分でEM故障を発生させることなく、正確にEM寿命を予測可能とする。【解決手段】 ホールチェーン6内の隣り合った各両ホール5の中心間隔L1,L2,L3,L4...を、ブレッヒ長の5倍以上に設定する。この設定により、EM寿命予測の故障分布として使用する対数正規分布の2つのパラメータMTEとσとは、上記中心間隔の値いかんに拘わらず一定値となる。従って、安定したホールチェーンのEM寿命の予測が可能となる。更に、引き出し配線2の長さをブレッヒ長以下に設定するならば、引き出し配線2におけるボイドの発生をも防止できる。
請求項（抜粋）：
ホールチェーンの各ホール間隔をブレッヒ長のX倍(Xは1より大きな有理数)以上に設定したことを特徴とし、前記ブレッヒ長のX倍とは、所定の故障モードに対する前記ホールチェーンの寿命推定に使用する所定の故障分布のパラメータの全てが、前記ホール間隔に依存することなく定まるときに採り得る前記ホール間隔の範囲中の一つの値である、配線の信頼性評価装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/768
FI (4件)：
H01L 21/66 S ,  H01L 21/66 Y ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/90 Z
引用特許：
審査官引用 (4件)
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