特許
J-GLOBAL ID:200903059084275174
レーザ走査型顕微鏡
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-266680
公開番号(公開出願番号):特開2001-091836
出願日: 1999年09月21日
公開日(公表日): 2001年04月06日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、レーザ光源の長寿命化を実現できるレーザ走査型顕微鏡を提供する。【解決手段】レーザ光源1a〜1cのレーザ光を、入射シャッタ41aを介してガルバノミラー41bに入射し、このガルバノミラー41bにより試料5にレーザ光を2次元走査させるとともに、試料5からの光の受光強度に応じた走査画像を得るようにしたもので、状態検出部63aにより入射シャッタ41aの開閉状態を検出し、入射シャッタ41aの開放状態を検出すると、走査画像の観察期間として通常制御を判断し、入射シャッタ41aの閉状態を検出するとスタンバイ制御を判断し、これら判断結果からレーザ電源2a〜2cを制御し、レーザ光源1a〜1cの出力光量を調整する。
請求項(抜粋):
レーザ光源からのレーザ光を観察対象に照射し走査するとともに、該観察対象からの光に基づく観察像の走査画像を得るレーザ走査型顕微鏡において、前記走査画像を得るための状態を検出する状態検出手段と、この状態検出手段により検出される状態情報により前記レーザ光源をスタンバイ状態に制御可能な制御手段とを具備したことを特徴とするレーザ走査型顕微鏡。
Fターム (8件):
2H052AA07
, 2H052AC15
, 2H052AC26
, 2H052AC28
, 2H052AC32
, 2H052AC33
, 2H052AC34
, 2H052AD35
引用特許:
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