カソードルミネッセンス装置及びそれを用いた分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩見知典
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-091026
公開番号（公開出願番号）：特開2008-249478
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：

【課題】優れた深さ空間分解能および空間分解能を有するカソードルミネッセンス装置の提供【解決手段】試料台に載置される試料の表面の近傍に、試料側に突出し、その頂部に照射電子線および試料からの発光を透過させるための小孔を有する採光部をもつカソードルミネッセンス測定装置。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

電子銃と、電子銃から放出される電子線が照射される試料を載置するための試料台と、試料からの発光を集光し、さらに光の波長に応じて分光する手段と、分光された光の強度を測定する手段とを有するカソードルミネッセンス測定装置であって、試料台に載置される試料の表面の近傍に、試料側に突出し、その頂部に照射電子線および試料からの発光を透過させるための小孔を有する採光部を有することを特徴とするカソードルミネッセンス測定装置。

IPC (7件)：

G01N 21/62 , G01N 21/65 , G01N 21/64 , H01J 37/244 , H01J 37/28 , G01N 23/04 , G01N 23/225

FI (7件)：

G01N21/62 A , G01N21/65 , G01N21/64 Z , H01J37/244 , H01J37/28 Z , G01N23/04 , G01N23/225

Fターム (27件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001LA11 , 2G001PA11 , 2G043AA01 , 2G043BA01 , 2G043CA07 , 2G043EA01 , 2G043EA03 , 2G043EA11 , 2G043FA01 , 2G043FA02 , 2G043GA08 , 2G043HA03 , 2G043JA02 , 2G043JA04 , 2G043JA05 , 2G043KA02 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043LA02 , 5C033NN01 , 5C033NN03 , 5C033NN10 , 5C033UU04 , 5C033UU10

引用特許：

出願人引用 (1件)

カソードルミネッセンス複合装置および該複合装置を用いた測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-203643 出願人：株式会社東レリサーチセンター

審査官引用 (5件)

特開昭62-133339
微小開口カンチレバーおよびそれを用いた近接場分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-150803 出願人：国立大学法人室蘭工業大学
試料分析装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-042400 出願人：株式会社トプコン

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