特許
J-GLOBAL ID：200903089329390604

カソードルミネッセンス複合装置および該複合装置を用いた測定方法

発明者：
杉江 隆一

杉江 隆一 について

, 
吉川 正信

吉川 正信 について

, 
松田 景子

松田 景子 について


出願人/特許権者：
株式会社東レリサーチセンター

株式会社東レリサーチセンター について


代理人 (1件)： 佐藤 謙二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-203643
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047284
出願日： 2002年07月12日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】高空間分解能で測定位置の確認ができ、かつ高空間分解能で試料分析ができるカソードルミネッセンス複合装置および該装置を用いた測定方法を提供すること。【解決手段】試料に電子線を照射して、その電子線照射により試料から発生した光を検出するカソードルミネッセンス装置において、集光システムとして探針をプローブとする原子間力顕微鏡を設けたことを特徴とするカソードルミネッセンス複合装置。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
試料に電子線を照射して、その電子線照射により試料から発生した光を検出するカソードルミネッセンス装置において、集光システムとして探針をプローブとする原子間力顕微鏡を設けたことを特徴とするカソードルミネッセンス複合装置。
IPC (5件)：
H01J37/22 ,  G01N13/10 ,  G01N21/62 ,  G01N21/65 ,  H01J37/252
FI (5件)：
H01J37/22 502L ,  G01N13/10 F ,  G01N21/62 A ,  G01N21/65 ,  H01J37/252 Z
Fターム (15件)：
2G043AA01 ,  2G043BA01 ,  2G043CA07 ,  2G043EA03 ,  2G043EA11 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043GA08 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043KA02 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  5C033RR10
引用特許：
審査官引用 (12件)
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