特許
J-GLOBAL ID：200903007420387776
微小開口カンチレバーおよびそれを用いた近接場分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 良和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-150803
公開番号（公開出願番号）：特開2006-329699
出願日： 2005年05月24日
公開日（公表日）： 2006年12月07日
要約：
【課題】微小開口カンチレバーが励起光と、励起光の照射によって発生した検出光の両方を伝播できるようにすると共に、近接場分光装置のスペクトル情報が効率的に得られるようにする。【解決手段】照射モードと集光モードを同一のプローブで実現した微小開口カンチレバーの探針先端部付近と開口穴部に金属膜または誘電体膜を設けることで、金属の作用による増強効果でカンチレバー探針先端部の金属または誘電体の作用により散乱光が増強されるのでS/N比が向上して検出効率が向上し、かつ、近接場スペクトルよりバックグラウンドを効率的に低減することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
先端に照明光と散乱光を通すための光波長以下の微小開口を設けたカンチレバーにおいて、その探針先端部付近表面に金属膜または誘電体膜のいずかを形成した微小開口カンチレバー。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N13/14 B
, G01N13/14 A
, G12B1/00 601C
