電子顕微鏡および分光システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-548694
公開番号（公開出願番号）：特表2002-514747
出願日： 1999年05月05日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：

【要約】電子顕微鏡(10)が試料(16)の分光分析を可能にするように改良される。放物面鏡(18)は、電子ビームが通過可能な中央開口(20)を有する。反射鏡(18)は、試料に横向き光路(24)からレーザー照明の焦点を合わせ、ラマンおよび/または他の散乱光を集光し、光学系(30)にそれを戻す。反射鏡(18)は、摺動アームアセンブリィ(22)により(電子顕微鏡の真空室内に)格納可能である。

請求項（抜粋）：

別の分析装置の試料チャンバに取り付けられた試料の光学的分析を行うためのアダプタであって、前記分析装置が分析軸線を有すると共にこの分析軸線にほぼ沿って分析ビームを試料に向けて投射し、前記アダプタは、前記分析軸線をほぼ横切る軸線に沿って入力光ビームを受け入れるように配置される反射鏡を具え、この反射鏡は、前記入力光ビームを前記分析軸線にほぼ沿って前記試料の方に指向させ、前記試料から与えられる散乱光を集光し、前記散乱光を前記横切る軸線にほぼ沿って指向させるものであり、前記反射鏡は、前記分析軸線上の操作位置と前記分析軸線から離れた非操作位置との間を移動可能である。

IPC (6件)：

G01N 21/64 , G01J 3/44 , G01J 3/443 , G01N 21/65 , G01N 23/225 , H01J 37/26

FI (6件)：

G01N 21/64 Z , G01J 3/44 , G01J 3/443 , G01N 21/65 , G01N 23/225 , H01J 37/26

Fターム (45件)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001JA04 , 2G001JA11 , 2G001JA14 , 2G001KA01 , 2G001SA01 , 2G020AA04 , 2G020AA05 , 2G020BA02 , 2G020CA01 , 2G020CA04 , 2G020CB23 , 2G020CB43 , 2G020CC26 , 2G020CD11 , 2G020CD13 , 2G020CD14 , 2G020CD22 , 2G020CD23 , 2G020DA12 , 2G043EA03 , 2G043EA10 , 2G043EA14 , 2G043FA06 , 2G043GA02 , 2G043HA02 , 2G043HA03 , 2G043HA05 , 2G043HA09 , 2G043JA03 , 2G043KA02 , 2G043KA03 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043LA02 , 2G043LA03 , 5C033SS02 , 5C033SS04 , 5C033SS10 , 5C033UU03

引用特許：

審査官引用 (8件)

蛍光顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-180478 出願人：株式会社ニコン
毛管カラム中でのサンプルの向上させた蛍光検出
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283583 出願人：ベックマンインスツルメンツインコーポレーテッド
特開昭51-142343

全件表示

前のページに戻る