特許
J-GLOBAL ID：200903059129699086
感放射性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-295260
公開番号（公開出願番号）：特開2004-133055
出願日： 2002年10月08日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】活性放射線、例えば、g線、i線等の紫外線、KrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザーもしくはF2エキシマレーザー、EUVに代表される遠紫外線、もしくは電子線などに感応する化学増幅型レジストとして、解像度および保存安定性に優れる感放射性組成物を提供すること。【解決手段】(A)1位置換イミダゾール類、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)下記(イ)または(ロ)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物、並びに(A)、(B)、(D)アルカリ可溶性樹脂、並びに(E)酸の存在下でアルカリ可溶性樹脂を架橋しうる化合物を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物を提供する。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で表される化合物、
(B)感放射線性酸発生剤、並びに
(C)下記(イ)または(ロ)
(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂
(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤
を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F7/004
, G03F7/039
, H01L21/027
G03F7/004 501
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
2H025AA02
, 2H025AA11
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AC04
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CC20
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
