特許
J-GLOBAL ID：200903059131371640
基板組立方法、基板組立装置及び基板組立システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-096939
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281513
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】組み合わせる一対の透明基板の位置合わせ精度を向上する。【解決手段】各々に3以上の合わせマークが設けられた一対のガラス基板を圧接した状態で、各対応する合わせマークのずれを計測し、これ等のずれの総和が最小になるように位置合わせを行い、その後、両ガラス基板の合わせ位置を固定する。
請求項（抜粋）：
各々に位置合わせ用のマークが3点以上設けられた一対の透明基板を、互いに重ね合わせて組み立てる基板組立方法であって、前記一対の透明基板を互いに圧接させて重ね合わせた状態で、前記マークを撮像して、当該撮像した画像から一方の透明基板に設けられたマーク各々と当該マークに対応する他方の透明基板に設けられたマークとの位置ずれを計測し、前記計測した各対応するマーク間の位置ずれを基に、これ等の位置ずれの総和が最小となる前記透明基板の移動量を求める算出行程と、当該求めた移動量に基いて前記透明基板を移動させる位置合わせ行程と、前記位置合わせ行程終了後、前記一対の透明基板の合わせ位置を固定する合わせ位置固定行程と、を行うことを特徴とする基板組立方法。
IPC (2件)：
G02F 1/1339 505
, G02F 1/13 101
G02F 1/1339 505
, G02F 1/13 101
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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