特許
J-GLOBAL ID：200903059298719320

センサ、及びその製造方法

発明者：
香取 篤史

香取 篤史 について

, 
真島 正男

真島 正男 について

, 
長永 兼一

長永 兼一 について

, 
高井 康好

高井 康好 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-267308
公開番号（公開出願番号）：特開2008-164586
出願日： 2007年10月15日
公開日（公表日）： 2008年07月17日
要約：
【課題】可動子がある側の構造をシンプルに設計できて、感度を向上することができるセンサを提供することである。【解決手段】センサは、可動に支持された可動子101と、可動子101に対して間隔を隔てて設けられた対向部材103との相対位置関係を検出する。センサでは、対向部材103が、可動子101に対向する対向部分、または対向部分に隣接する隣接部分に、不純物イオン導入部105を有する。不純物イオン導入部105の少なくとも一部が、可動子101と対向する面側と反対側の面に形成され、反対側の面から電気配線が取り出されている。【選択図】図1-1
請求項（抜粋）：
可動子と、前記可動子に対して間隔を隔てて設けられた対向部材との相対位置関係を検出するセンサであって、 前記対向部材が、前記可動子に対向する対向部分、または前記対向部分に隣接する隣接部分に、不純物イオン導入部を有し、 前記不純物イオン導入部の少なくとも一部が、前記可動子と対向する面側と反対側の面に形成され、前記反対側の面から電気配線が取り出されていることを特徴とするセンサ。
IPC (6件)：
G01P 15/08 ,  G01P 15/125 ,  G01P 15/12 ,  G01P 9/04 ,  G01C 19/56 ,  H01L 29/84
FI (7件)：
G01P15/08 P ,  G01P15/125 Z ,  G01P15/12 E ,  G01P9/04 ,  G01C19/56 ,  H01L29/84 C ,  H01L29/84 Z
Fターム (18件)：
2F105BB02 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD13 ,  4M112AA02 ,  4M112BA03 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA23 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA10 ,  4M112DA12 ,  4M112DA18 ,  4M112FA01
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 特開平4-25764号公報
  • 角速度センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-152334   出願人：株式会社村田製作所
審査官引用 (16件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM