特許
J-GLOBAL ID:200903059385998260

形状測定装置、形状測定方法、及び形状測定プログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-330263
公開番号(公開出願番号):特開2009-150822
出願日: 2007年12月21日
公開日(公表日): 2009年07月09日
要約:
【課題】非球面ワークの測定から照合計算までに要する時間を短縮化した形状測定装置、形状測定方法、及び形状測定プログラムを提供する。【解決手段】制御部41は、ワーク4の面における所定方向に亘る3次元測定により3次元測定値Miを取得する。続いて、制御部41は、ワーク4の設計関数にて特定されるワークモデルFを3次元測定値と照合させて、ワーク4の傾きを含む配置状態を推定する。次に、制御部41は、推定された配置状態に基づき対応測定経路Laiを推定する。続いて、制御部41は、推定された対応測定経路Laiに基づき対応測定経路Lai上の対応値Dxiを推定する。【選択図】図8
請求項(抜粋):
非球面ワークの形状を測定する形状測定装置であって、 前記非球面ワークの面における所定方向に亘る3次元測定により3次元測定値を取得する測定値取得部と、 予め定められた非球面ワークの設計関数にて特定されるワークモデルを前記測定値取得部により取得された3次元測定値と照合させて、前記非球面ワークの傾きを含む配置状態を推定する配置状態推定部と、 推定された前記配置状態に基づき、前記ワークモデルが当該配置状態とされている場合における断面測定の際の測定経路を推定する測定経路推定部と、 推定された前記測定経路で前記ワークモデルを前記断面測定した場合に得られる前記非球面ワークの測定値に対応する対応値を推定する対応値推定部と を備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件):
G01B 5/20
FI (1件):
G01B5/20 C
Fターム (17件):
2F062AA04 ,  2F062AA51 ,  2F062BB09 ,  2F062BC80 ,  2F062CC27 ,  2F062EE07 ,  2F062EE44 ,  2F062EE47 ,  2F062EE71 ,  2F062FF04 ,  2F062FF26 ,  2F062FF28 ,  2F062JJ04 ,  2F062JJ08 ,  2F062JJ09 ,  2F062LL17 ,  2F062NN02
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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