特許
J-GLOBAL ID:200903059416132518
光起電力素子及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-103540
公開番号(公開出願番号):特開2001-291883
出願日: 2000年04月05日
公開日(公表日): 2001年10月19日
要約:
【要約】【課題】 基板と、透明導電膜と、第1の導電型半導体と、真性層と、第1の導電型と異なる導電型の第2の導電型半導体とを具える光起電力素子において、開放端電圧の低下を抑制する。【解決手段】 第2の透明導電膜12-2とP型半導体層13との間に、水素濃度15体積%以下の雰囲気中において形成されてなる中間層17を、第1の透明導電膜12-1及び第2の透明導電膜12-2を覆うようにして設ける。
請求項(抜粋):
基板と、この基板上に形成された透明導電膜と、この透明導電膜上に順次積層された第1の導電型半導体層と、真性層と、前記第1の導電型と異なる第2の導電型半導体層とを具える光起電力素子であって、前記透明導電層と前記第1の導電型半導体層との間において、水素濃度15体積%以下の雰囲気中において形成されてなる中間層を、前記透明導電膜を覆うようにして設けたことを特徴とする、光起電力素子。
FI (2件):
H01L 31/04 B
, H01L 31/04 M
Fターム (11件):
5F051AA04
, 5F051AA05
, 5F051BA15
, 5F051BA17
, 5F051CA15
, 5F051CB12
, 5F051DA04
, 5F051DA20
, 5F051FA18
, 5F051GA03
, 5F051GA05
引用特許:
出願人引用 (11件)
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特開平2-082655
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光起電力装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-068370
出願人:三洋電機株式会社
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特開平3-012973
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特開昭61-003475
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薄膜太陽電池およびその製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-332437
出願人:鐘淵化学工業株式会社
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光電変換素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-374085
出願人:シャープ株式会社
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光起電力素子及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-080431
出願人:三洋電機株式会社
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特開平2-111080
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特開昭60-111479
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特開昭60-130867
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特開昭63-089657
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審査官引用 (15件)
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特開平3-012973
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特開平2-082655
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特開昭61-003475
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光起電力装置及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-068370
出願人:三洋電機株式会社
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薄膜太陽電池およびその製法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-332437
出願人:鐘淵化学工業株式会社
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光電変換素子の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-374085
出願人:シャープ株式会社
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光起電力素子及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-080431
出願人:三洋電機株式会社
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特開平2-082655
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特開平2-082655
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特開昭59-165468
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半導体薄膜の形成装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-025041
出願人:三洋電機株式会社
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特開平2-111080
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特開昭60-111479
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特開昭60-130867
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特開昭63-089657
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