特許

J-GLOBAL ID：200903059652957927

高充填率シリコン空間光変調器

発明者： ヤン, シャオ ,  ワン, ユーシャン ,  ジ, ウック ,  ペイン, ジャスティン, アレン ,  ワン, イェー ,  ウォーリー サード, ウィリアム, スペンサー ,  チェン, ドンミン ,  ウー, ハワード
出願人/特許権者： ミラディア インク
代理人 (3件)： 山田 行一 ,  野田 雅一 ,  池田 成人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-538004
公開番号（公開出願番号）：特表2009-514029
出願日： 2006年10月26日
公開日（公表日）： 2009年04月02日
要約：

ディスプレイ用途用の光偏向デバイス。光偏向デバイスは、上部表面領域を含む半導体基板と、上部表面領域の上に設けられた1つ又は複数の電極デバイスとを含む。光偏向デバイスには、シリコン材料を含み、上部表面領域に結合されたヒンジデバイスがさらに含まれる。光偏向デバイスは、上部表面領域とヒンジデバイスとの間に画定された間隙部、及びヒンジデバイスに結合された柱部分と、柱部分に結合され、ヒンジデバイスの上にあるミラー板部分とを含むミラー構造をさらに含む。【選択図】 図1A

請求項（抜粋）：

ディスプレイ用途用の光偏向デバイスであって、 上部表面領域を備える半導体基板と、 前記上部表面領域の上に設けられた1つ又は複数の電極デバイスと、 シリコン材料を含み、前記上部表面領域に結合されたヒンジデバイスと、 前記上部表面領域と前記ヒンジデバイスとの間に画定された間隙部と、 ミラー構造であって、 前記ヒンジデバイスに結合された柱部分と、 前記柱部分に結合され、前記ヒンジデバイスの上にあるミラー板部分と を備えるミラー構造と を具備する光偏向デバイス。

IPC (1件)：

G02B 26/08

FI (1件)：

G02B26/08 E

Fターム (19件)：

2H141MA04 ,  2H141MA05 ,  2H141MA13 ,  2H141MB24 ,  2H141MB63 ,  2H141MC06 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD23 ,  2H141MD24 ,  2H141MD31 ,  2H141MF02 ,  2H141MF12 ,  2H141MF14 ,  2H141MG03 ,  2H141MZ06 ,  2H141MZ18 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ26

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 反射型空間光変調器の構造
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-515727   出願人：ミラディアインク
• マイクロメカニカルデバイス用支柱
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-192690   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• SOIウエーハの製造方法ならびにこの方法で製造されるSOIウエーハ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-279878   出願人：信越半導体株式会社
• 空間光変調器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-097041   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド