特許
J-GLOBAL ID:200903059859360750
電界効果トランジスタおよびサイリスタ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
吉武 賢次
, 橘谷 英俊
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-006396
公開番号(公開出願番号):特開2007-013087
出願日: 2006年01月13日
公開日(公表日): 2007年01月18日
要約:
【課題】耐圧の低下を可及的に防止することを可能にする。【解決手段】SiCからなるドレイン領域2と、ドレイン領域上に設けられたn型のSiCからなるドリフト層4と、ドリフト層の表面に設けられたn型のSiCからなるソース領域18と、ソース領域の側部のドリフト層の表面に設けられたSiCからなるチャネル領域12aと、チャネル領域上に設けられた絶縁ゲート22と、ソース領域の底部とドリフト領域との間に設けられ2種類のp型不純物を含むp型のベース領域15と、を備えている。【選択図】図7
請求項(抜粋):
SiCからなるドレイン領域と、前記ドレイン領域上に設けられたn型のSiCからなるドリフト層と、前記ドリフト層の表面に設けられたn型のSiCからなるソース領域と、前記ソース領域の側部の前記ドリフト層の表面に設けられたSiCからなるチャネル領域と、前記チャネル領域上に設けられた絶縁ゲートと、前記ソース領域の底部と前記ドリフト領域との間に設けられ2種類のp型不純物を含むp型のベース領域と、を備えていることを特徴とする電界効果トランジスタ。
IPC (8件):
H01L 29/78
, H01L 29/80
, H01L 29/74
, H01L 29/744
, H01L 21/337
, H01L 29/808
, H01L 29/12
, H01L 29/739
FI (7件):
H01L29/78 652D
, H01L29/80 V
, H01L29/74 M
, H01L29/74 C
, H01L29/80 C
, H01L29/78 652T
, H01L29/78 655A
Fターム (14件):
5F005AA03
, 5F005AB01
, 5F005AB03
, 5F005AC02
, 5F005AD01
, 5F005AF02
, 5F005GA01
, 5F005GA02
, 5F102FA01
, 5F102FB01
, 5F102GB04
, 5F102GC07
, 5F102GD04
, 5F102GJ02
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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