特許
J-GLOBAL ID：200903060261296436

コンタクトプローブ及びコンタクトピンの研磨方法

発明者：
加藤 直樹

加藤 直樹 について

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吉田 秀昭

吉田 秀昭 について

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植木 光芳

植木 光芳 について

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飯塚 恒夫

飯塚 恒夫 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について

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富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-188261
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013163
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 コンタクトピンのパッドに対する接触抵抗を低減して安定させる。【解決手段】 コンタクトプローブ30のコンタクトピン32aにおいて、下面41の先端側に先端に向かうに従って上面40に近接する平滑面43を研磨で形成し、下面41に対して傾斜させる。平滑面43はコンタクトピン32aの先端から長手方向に沿って50μm〜150μmの範囲の長さにわたって形成する。この平滑面43を形成するために、パッド18aへのコンタクト角度θより小さい研磨角度βを設定してコンタクトピン32aを研磨面47aにコンタクトさせて研磨する。
請求項（抜粋）：
フィルムが被着された複数のパターン配線の各先端が前記フィルムから突出してコンタクトピンとされているコンタクトプローブにおいて、前記コンタクトピンの被検査物へ接触する側の一面がその先端側で研磨されて平滑面とされ、この平滑面は前記一面に対して傾斜していると共にコンタクトピンの先端部から長手方向に沿って50μm以上の長さにわたって形成されていることを特徴とするコンタクトプローブ。
IPC (2件)：
G01R 1/06 ,  G01R 1/073
FI (2件)：
G01R 1/06 E ,  G01R 1/073 E
Fターム (5件)：
2G011AA15 ,  2G011AC02 ,  2G011AC14 ,  2G011AE02 ,  2G011AF06
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)

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