特許
J-GLOBAL ID：200903060286424307

照度制御方法及び装置

発明者：
森 堅一郎

森 堅一郎 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301531
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126971
出願日： 1999年10月22日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 透過率可変な減光装置を用いずに、高圧水銀ランプ等の発散光源の照度を制御する。【解決手段】 光源1は始め照度最大の位置に調整されていて、基板12上の照度は、ランプステージ20を動かすことにより、光源1の集光ミラー2に対する相対的な位置を照度最大の位置から動かして調整する。基板12を露光する前に、あらかじめ光源1の集光ミラー2に対する相対的な位置変化と、基板上の照度Iの関係を関連付ける。関連付けは、ステージ上に取り付けられた露光量センサー14を照明領域に移動させて、各照明条件において、光源を動かしながら露光量センサー14の出力を計測することによって行う。又は、各照明条件において、光源1を動かしながら、露光量センサー16の出力を計測し、光源1の集光ミラー2に対する位置変化と、基板上の照度Iの関係を関連付けてもよい。
請求項（抜粋）：
露光用の光源と、前記光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系とを用い、前記光源から被照明面に到達する光線数を制御することを特徴とする照度制御方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (4件)：
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 515 C ,  H01L 21/30 527
Fターム (12件)：
5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA02 ,  5F046CB02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB22 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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