特許
J-GLOBAL ID：200903060462586114
加速度センサ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323414
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148643
出願日： 1996年11月19日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 電極対向面積を広く、電極間距離は小さく形成可能で検出感度の向上を図ることのできる加速度センサを得る。【解決手段】 主面20aが凹凸を有する固定部20と、固定部20の主面に対向する面が前記凹凸を転写した表面形状を有する可動部25とを具備し、固定部20及び可動部25の相互に対向する表面の一方に第1電極としての下部電極21が、他方に第2電極としての上部電極26が形成されており、前記下部電極21と対向する前記上部電極表面が当該下部電極表面の凹凸を転写した表面形状を有している。
請求項（抜粋）：
第1電極と第2電極間の静電容量変化を利用した加速度センサにおいて、前記第1電極表面が凹凸を有し、前記第1電極と対向する前記第2電極表面が当該第1電極表面の凹凸を転写した表面形状を有することを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, H01L 29/84 Z
