アクティブ型除振装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：野田茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222776
公開番号（公開出願番号）：特開2001-050334
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】重量が軽く占有スペースが小さくて済み、かつ、設置場所に制限が少ないアクティブ型除振装置を提供する。【解決手段】アクティブ型除振装置1000は、ベース部100、取付板200、小変位アクチュエータ300、大変位アクチュエータ400、振動センサ500、積層ゴム600などを備えた除振機構部700と、この除振機構部700の制御を行う制御装置部を備える。取付板200は、大変位アクチュエータ400と積層ゴム600によって上下方向にスライド可能に支持されている。小変位アクチュエータ300と大変位アクチュエータ400はベース部100と取付板200の間で水平方向に並べて配置されベース部100に対する取付板200の位置を上下方向に変位させることで被除振体20が除振される。

請求項（抜粋）：

下部構造体上で被除振体を支持する除振機構部とその制御装置部を備え、前記除振機構部は、下部構造体上に設けられたベース部と、被除振体に取付可能に設けられた取付手段と、下部構造体上において前記取付手段を支持する支持手段と、前記取付手段を前記ベース部に対して上下及びまたは水平方向である変位方向に変位させる変位手段と、前記取付手段の前記変位方向の振動を検出する振動検出手段とを備え、前記ベース部、前記取付手段、前記振動検出手段、前記変位手段は一体的に設けられ、前記制御装置部は、前記振動検出手段により検出した前記変位方向の振動に対応して前記変位手段を駆動することにより、前記被除振体の変位方向の振動を除去するように構成され、前記変位手段は、前記取付手段に比較的小さな変位を与える小変位アクチュエータと、前記取付手段に比較的大きな変位を与える大変位アクチュエータとで構成され、前記小変位アクチュエータと大変位アクチュエータは、前記ベース部と前記取付手段の間で前記変位方向と直交する方向に並べて配置されている、ことを特徴とするアクティブ型除振装置。

IPC (6件)：

F16F 15/02 , G03F 7/20 521 , H01J 37/16 , H01L 21/027 , H01L 41/09 , H01L 41/12

FI (6件)：

F16F 15/02 A , G03F 7/20 521 , H01J 37/16 , H01L 41/12 , H01L 21/30 503 F , H01L 41/08 C

Fターム (11件)：

3J048AB07 , 3J048AD02 , 3J048AD03 , 3J048BA08 , 3J048BE02 , 3J048DA01 , 3J048EA13 , 5F046AA23 , 5F046DA30 , 5F046DB14 , 5F046DC14

引用特許：

審査官引用 (7件)

防振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-239013 出願人：株式会社ニコン
能動型除振装置の支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-105016 出願人：東洋ゴム工業株式会社
制御型除振台の支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-277067 出願人：東洋ゴム工業株式会社

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