特許
J-GLOBAL ID：200903060565202314
垂直配向カーボンナノチューブを用いた電子デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
眞鍋 潔
, 柏谷 昭司
, 渡邊 弘一
, 伊藤 壽郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289367
公開番号（公開出願番号）：特開2007-103529
出願日： 2005年09月30日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：
【課題】 垂直配向カーボンナノチューブを用いた電子デバイスに関し、動作が確実で且つ生産性の高い工程により製造が可能な素子構造を実現する。【解決手段】 基板1の主面に対して垂直方向に配向したカーボンナノチューブ2と、カーボンナノチューブ2に隣接して配置された絶縁層5/第1電極4/絶縁層5からなる第1の積層電極3、第1の積層電極3に対してカーボンナノチューブ2を挟んで対向する絶縁層5/第2電極7/絶縁層5からなる第2の積層電極6とを設ける。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板の主面に対して垂直方向に配向したカーボンナノチューブ、前記カーボンナノチューブに隣接して配置された絶縁層/第1電極/絶縁層からなる第1の積層電極、前記第1の積層電極に対してカーボンナノチューブを挟んで対向する絶縁層/第2電極/絶縁層からなる第2の積層電極を備えたことを特徴とする垂直配向カーボンナノチューブを用いた電子デバイス。
IPC (4件)：
H01L 29/66
, H01L 29/06
, B82B 1/00
, H01H 59/00
H01L29/66 C
, H01L29/06 601N
, B82B1/00
, H01H59/00
出願人引用 (3件)
審査官引用 (5件)
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