特許
J-GLOBAL ID：200903060586911854

有機光導波路およびその製造方法並びにそれを用いた光学部品

発明者：
藤田 英明

藤田 英明 について

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石井 ▲頼▼成

石井 ▲頼▼成 について

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田村 壽宏

田村 壽宏 について

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倉田 幸夫

倉田 幸夫 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-338047
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162460
出願日： 1998年11月27日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：
【要約】【課題】 同一基板上に、有機光導波路と他の素子と集積化することが容易であり、RIEなどのドライエッチングによる残渣の発生を少なくする。また安価で加工性が良く、伝搬損失が小さな有機光導波路および光学部品を得る。【解決手段】 基板1上にバッファ層2と有機ポリマからなるコア部3の上部にドライエッチングにより有機ポリマを加工するときにマスクとなり、かつ上部クラッドとなるマスク兼クラッド4が形成され、さらに、コア部3の周囲には、酸化シリコン等の無機誘電体からなるオーバークラッド5が形成されている。
請求項（抜粋）：
有機ポリマからなるコア部と、該コア部を覆うコア部より低い屈折率を有する無機誘電体からなるクラッド部とを有することを特徴とする有機光導波路。
IPC (2件)：
G02B 6/13 ,  G02B 6/12
FI (2件)：
G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N
Fターム (14件)：
2H047KA05 ,  2H047MA05 ,  2H047MA07 ,  2H047PA03 ,  2H047PA04 ,  2H047PA05 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047RA08 ,  2H047TA05 ,  2H047TA35 ,  2H047TA43 ,  2H047TA44
引用特許：
審査官引用 (9件)
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