特許
J-GLOBAL ID：200903060687522123
ITO焼結体の製造法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-090633
公開番号（公開出願番号）：特開平8-283936
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：
【要約】【構成】インジウム酸化物-スズ酸化物(ITO)混合粉末の成形体を、焼結炉内で焼結するに当たり、炉床と成形体の間に、ITO成形体や炉床と、熱によって強固に結合のない材質を介在させて焼結を行うITO焼結体の製造方法。【効果】この発明の方法によれば、大型のITO成形体の焼結でも、焼結時のクラック発生、変形が防止でき、製造歩留まりが向上する。
請求項（抜粋）：
インジウム酸化物-スズ酸化物(ITO)混合粉末の成形体を焼結する際、焼結炉内の炉床と成形体の間に、ITO成形体及び/又は炉床と、熱による結合のない材質を介在させて焼結を行うことを特徴とするITO焼結体の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C01G 19/00
, H01L 29/43
C23C 14/34 A
, C01G 19/00 A
, H01L 29/46 R
