特許
J-GLOBAL ID：200903060831785061

平坦度の測定方法及び装置

発明者：
川手 悦男

川手 悦男 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-131757
公開番号（公開出願番号）：特開2007-248475
出願日： 2007年05月17日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：
【課題】試料の透過スペクトルを測定することで、基板の平坦度と薄膜の複素誘電率の両方を測定できる光学系を実現する。【解決手段】平行平板状の基板の透過スペクトルは、フリンジのピーク周波数では入射角度に依らず、透過率は一定で最大値をとるが、その周辺周波数では、入射角度を増加させると透過率はゼロに近づく。この基板に薄膜を載せて厚さを増加させると、フリンジのピーク周波数は低周波側にずれる。これら3つの効果のために、高入射角度で基板のみの透過スペクトルに対する基板と薄膜からなる系の透過スペクトルの比のスペクトルは、最大値と最小値が隣接した構造のスペクトルになり、薄膜の複素誘電率が求まる。さらに、基板上で光の照射位置を移動させながら同様の測定をして、基準位置の透過スペクトルとの比のスペクトルに前述の構造が表れれば、そのスペクトルから基板の平坦度が求まる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料の平坦度測定装置において、該試料は、平板であり、該測定装置は、該回転装置及び光源を有し、該回転装置は、該試料の中心を軸として、該試料を回転できるように該試料を支持しており、該光源は、該試料の面に斜めより光を照射できるように設けられており、種々の回転角度において透過光のスペクトルを求め、該試料の平坦度を求めることを特徴とする試料の平坦度測定装置。
IPC (1件)：
G01N 21/35
FI (1件)：
G01N21/35
Fターム (10件)：
2G059AA03 ,  2G059BB10 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ24 ,  2G059JJ25 ,  2G059KK01
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (2件)
  • 特開昭58-160804
  • 特開昭56-111405

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