特許
J-GLOBAL ID：200903060845011891

照明光学系、照明方法及び露光装置

発明者：
河野 道生

河野 道生 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-121506
公開番号（公開出願番号）：特開2003-318087
出願日： 2002年04月23日
公開日（公表日）： 2003年11月07日
要約：
【要約】【課題】 パターンの変化に応じて所望の有効光源が得られると共に、それぞれの部分有効光源を相対的に変位させることができる照明光学系を提供する。【解決手段】 光源からの光束でレチクルを照明する照明光学系において、前記レチクルに対して実質的にフーリエ変換の関係となる所定面における光量分布のうち第1の領域と、前記第1の領域とは異なる第2の領域とを、相対的に変位可能とする有効光源形成手段を有することを特徴とする照明光学系を提供する。
請求項（抜粋）：
光源からの光束でレチクルを照明する照明光学系において、前記レチクルに対して実質的にフーリエ変換の関係となる所定面における光量分布のうち第1の領域と、前記第1の領域とは異なる第2の領域とを、相対的に変位可能とする有効光源形成手段を有することを特徴とする照明光学系。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/213
FI (4件)：
G03F 1/08 C ,  G03F 1/08 D ,  G03F 7/213 H ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (8件)：
2H095BA02 ,  2H095BB02 ,  2H095BB36 ,  5F046BA03 ,  5F046CB10 ,  5F046CB13 ,  5F046CB17 ,  5F046CB23
引用特許：
審査官引用 (8件)
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