特許
J-GLOBAL ID：200903061096694460
圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-091530
公開番号（公開出願番号）：特開2001-284670
出願日： 2000年03月29日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：
【要約】【課題】 耐電圧性の高い薄膜の圧電膜を備えた圧電アクチュエータ及びそれを備えたインクジェットヘッド並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 インクジェットヘッド1のアクチュエータとして、Pb、Zr及びTiを含むペロブスカイト型構造を有し且つ膜厚が1μm〜10μmの圧電膜を備えた圧電アクチュエータ16を用いる。圧電膜18は、比誘電率が150〜500であり、X線回折ピークの強度が最大となる面が(001)面であり、抗電界が10V/μm程度であり、誘電損失が5%以下であり、Pb/(Zr+Ti)=1.1〜1.5であり、組成比の異なる複数の圧電薄膜18a,18bが積み重ねられて形成されている。
請求項（抜粋）：
上部電極と下部電極との間に圧電体が設けられてなる圧電アクチュエータであって、上記圧電体は、Pb、Zr及びTiを含むペロブスカイト型構造を有する膜厚が1μm〜10μm且つ比誘電率が150〜500の圧電膜によって形成されている圧電アクチュエータ。
IPC (5件)：
H01L 41/09
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, H01L 41/18
, H02N 2/00
H02N 2/00 B
, H01L 41/08 C
, B41J 3/04 103 A
, H01L 41/08 U
, H01L 41/18 101 Z
2C057AF54
, 2C057AG39
, 2C057AG42
, 2C057AG44
, 2C057AG49
, 2C057AG52
, 2C057AN01
, 2C057AP02
, 2C057AP15
, 2C057AP31
, 2C057AP52
, 2C057AQ02
, 2C057BA03
, 2C057BA14
