変調器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-117161
公開番号（公開出願番号）：特開2008-210814
出願日： 2008年04月28日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：

【課題】半導体レーザ等の1個当りの発光エネルギーが小さな光源を複数用いて、高い効率で、かつ均一に被照射物に照射することができるようにして、省エネルギーで高性能な照明を実現することができる。【解決手段】光源11が半導体レーザ等コヒーレントな光の場合、光インテグレータに入射または出射する光を、断面が概ね正弦波状の高さ変化するように放射状に加工され、かつ回転駆動された変調器16を通過させる。【選択図】図7

請求項（抜粋）：

入射光の波面を変化させる変調器であって、断面が概ね正弦波状の高さ変化するように放射状に加工され、かつ回転駆動されたことを特徴とする変調器。

IPC (5件)：

F21S 2/00 , F21V 14/00 , H01L 21/027 , G02B 21/08 , G02B 3/00

FI (4件)：

F21M1/00 T , H01L21/30 515D , G02B21/08 , G02B3/00 A

Fターム (27件)：

2H052AB17 , 2H052AC04 , 2H052AC34 , 2H052BA02 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 3K243AA01 , 3K243AC06 , 3K243BC09 , 3K243BE02 , 3K243CB14 , 5F046BA04 , 5F046BA05 , 5F046CA03 , 5F046CA05 , 5F046CB13 , 5F046CB23 , 5F046CB27 , 5F046DA02 , 5F173SA12 , 5F173SA34 , 5F173SC10 , 5F173SE01 , 5F173SF03 , 5F173SF32 , 5F173SF43 , 5F173SF62

引用特許：

審査官引用 (10件)

照明方法並びに露光方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-195086 出願人：株式会社日立製作所, 日立ビアメカニクス株式会社
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-287434 出願人：旭光学工業株式会社
レーザ露光描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-011859 出願人：ソニー株式会社

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