特許
J-GLOBAL ID：200903061474755031
レジスト剥離装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345277
公開番号（公開出願番号）：特開2001-167998
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 剥離液の蒸気の漏れを防止するとともに、排気ファンの排気容量の低減および除害装置の負荷を低減する剥離装置を提供する。【解決手段】 被洗浄物9は、搬送機構13によって搬送方向Aに搬送され、搬入口15からハウジング内部29に搬入される。噴射部17は、被洗浄物9に向けて剥離液を噴射し、被洗浄物9のレジストを剥離して除去する。レジストが剥離された被洗浄物9は、搬送機構13によって搬送方向Aに搬送され、搬出口16からハウジング外部30に搬出される。この剥離作業時に発生した剥離液の蒸気の一部は、排気機構18によって除害装置19に排気される。排気機構18によって排気されなかった残りの蒸気は、搬入口15および搬出口16に設けられた冷却機構12によって冷却されて液化する。これによって搬入口15および搬出口16からハウジング外部30に蒸気が漏れ出すことが防止される。
請求項（抜粋）：
ドライエッチングやウェットエッチングやアッシング後の被洗浄物に剥離液を噴射してレジストを剥離するレジスト剥離装置において、被洗浄物を予め定める搬送方向に搬送する搬送機構と、搬送された被洗浄物の少なくとも一部を覆うハウジングと、前記ハウジング内に設けられ、被洗浄物に剥離液を噴射する噴射部と、ハウジングの噴射部よりも搬送方向上流側に設けられる被洗浄物の搬入口と、ハウジングの噴射部よりも搬送方向下流側に設けられる被洗浄物の搬出口と、ハウジング内部の剥離液の蒸気をハウジング外部に排気する排気機構と、搬入口および搬出口に設けられ、ハウジング内部の剥離液の蒸気を冷却して液化させる冷却機構とを含む剥離装置。
IPC (7件)：
H01L 21/027
, C23G 3/00
, G03F 7/42
, H01L 21/304 643
, H01L 21/304 645
, H01L 21/306
, H05K 3/26
C23G 3/00
, G03F 7/42
, H01L 21/304 643 B
, H01L 21/304 645 B
, H05K 3/26 C
, H01L 21/30 572 B
, H01L 21/306 D
