特許
J-GLOBAL ID：200903061504459246
ステージ装置および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-087078
公開番号（公開出願番号）：特開2005-277030
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 露光領域と計測領域の2つの領域を有する露光装置用のステージ装置では、固定子内のコイル群をすべてまとめて冷却する構造では、冷却の効率が悪くなるおそれがある。【解決手段】 平面モータを用いて基板を搭載した可動子を駆動するステージ装置であって、前記ステージ装置はコイル群を有する固定子ユニットと、前記固定子ユニット上を移動する可動子とを有し、前記固定子ユニットは、前記基板に露光を行うための露光領域と、前記基板のアライメントを行うための計測領域とを有し、前記固定子ユニット内のコイル群は各領域で独立に温調される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平面モータを用いて対象物を搭載した可動子を駆動するステージ装置であって、前記ステージ装置はコイル群を有する固定子ユニットと、前記固定子ユニット上を移動する可動子とを有し、前記固定子ユニットは、前記対象物に第1の処理を行うための第1領域と、前記対象物に第2の処理を行うための第2領域とを有し、前記固定子ユニット内のコイル群は各領域で独立に温調されることを特徴とするステージ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 515G
, G03F7/20 521
5F046BA03
, 5F046CC01
, 5F046CC18
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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