特許
J-GLOBAL ID：200903061538305043
試料分析方法及び試料分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (10件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
, 竹内 宏
, 嶋田 高久
, 竹内 祐二
, 今江 克実
, 藤田 篤史
, 二宮 克也
, 原田 智雄
, 井関 勝守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-111274
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292085
出願日： 2004年04月05日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：
【課題】 X線を照射した試料から放出された光電子及びオージェ電子と蛍光X線とに基づいて得た2つのX線吸収スペクトルを直接比較できるようにすることで、試料の内部側を構成する部分の電子状態を正確に得て、試料の極表面側と内部側とを個別に分析できるようにする。 【解決手段】 XAFS分析装置1の電子収量スペクトル検出部25において試料Sから放出された光電子及びオージェ電子に基づいてX線吸収スペクトルを得る。蛍光X線収量スペクトル検出部26において試料Sから放出された蛍光X線に基づいてX線吸収スペクトルを得る。両スペクトルを数値化部27、28で数値化する。処理部29で光電子及びオージェ電子に基づく数値と蛍光X線に基づく数値とを対応させた後、蛍光X線に基づく数値から光電子及びオージェ電子に基づく数値を減じて、試料Sの内部側だけの吸収係数を得る。この吸収係数と照射X線の波長とを示すX線吸収スペクトルを得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料にX線を照射して該試料のX線吸収係数に関するX線吸収スペクトルを得て、該スペクトルにより試料の分析を行うX線吸収微細構造を利用した試料分析方法であって、
X線を波長の掃引を行いながら試料へ照射するX線照射ステップと、
上記X線照射ステップでX線が照射された試料から放出された電子及び蛍光X線をそれぞれ検出する検出ステップと、
上記検出ステップで検出した電子の放出量に基づいてX線の吸収係数に関するX線吸収スペクトルを得る電子収量スペクトル検出ステップと、
上記検出ステップで検出した蛍光X線の放出量に基づいてX線の吸収係数に関するX線吸収スペクトルを得る蛍光X線収量スペクトル検出ステップと、
上記電子収量スペクトル検出ステップで検出したX線吸収スペクトル及び上記蛍光X線収量スペクトル検出ステップで検出したX線吸収スペクトルに基づいて、試料の極表面側よりも内部側を構成する部分の電子状態を得る処理ステップと経ることを特徴とする試料分析方法。
IPC (3件)：
G01N23/223
, G01N23/06
, G01N23/227
G01N23/223
, G01N23/06
, G01N23/227
2G001AA01
, 2G001AA09
, 2G001BA04
, 2G001BA08
, 2G001BA09
, 2G001BA12
, 2G001BA30
, 2G001CA01
, 2G001CA03
, 2G001DA01
, 2G001DA02
, 2G001DA06
, 2G001EA09
, 2G001FA02
, 2G001FA06
, 2G001FA08
, 2G001GA01
, 2G001GA11
, 2G001GA16
, 2G001JA05
, 2G001JA06
, 2G001JA07
, 2G001JA13
, 2G001JA14
, 2G001KA01
, 2G001KA13
, 2G001LA11
, 2G001LA20
, 2G001MA04
, 2G001MA05
, 2G001NA03
, 2G001NA08
, 2G001NA11
, 2G001NA17
, 2G001NA20
, 2G001PA07
, 2G001PA15
, 2G001QA01
, 2G001SA10
